Handbook of thin-film deposition processes and techniques - principles, methods, equipment and applications
- Författare
- (Edited by Krishna Seshan.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Noyes Publications | cop. 2002 | USA, Park Ridge, N.J | xxviii, 629 sidor. ill. |